此时西林光电精密所的张志坚院士的确在乔泽办公室里汇报这个好消息。
当时依托于乔泽的论文直接开启的光刻工厂项目,历时一年,终于进行了到了试机阶段。当时张志坚便专门来请过乔泽一次,希望他能出面一起参与试机仪式。
可惜被乔泽断然拒绝了。
这种热闹不管人家是不是真情实意的邀请,乔泽都觉得没必要去这种风头。
而且从头至尾,乔泽都不觉得他对这个项目有多大的贡献。
当时的那两篇论文本就是打算忽悠一下对面,顺便放松下大脑。
对于光电所两位院士真能把这东西做出来,说实话乔泽心底还生出了一丝钦佩的情绪。
数千个零件需要试错啊……
真做出来了!
当然,性能肯定不可能像陈艺文说的那么假,既不是第一代,性能也没那么强劲。
别说对标阿斯麦还在设计中的下一代光刻机了,甚至比现在主流的光刻机性能还要差上那么一点。但最小na数值孔径也做到了1.36。